[지원목적]  
반도체 테스트베드를 활용한 나노반도체 중소·중견기업의 반도체 소재부품장비 제품 개발 지원 및 국산화 촉진

[지원금액]  
과제당 연 3억원 내외, 12개 과제 선정, 1~2년 지원(1+1년 연장 가능)

[지원내용]  
반도체 소재부품장비 시제품 기술개발, 시험평가, 신뢰성 검증, 수요기업 양산시제품 개발 지원

[지원조건]  
- TRL 6~8단계 이상의 1~2년 내 사업화 가능한 소재부품장비 기술  
- 나노종합기술원 정규직 연구원 주관연구책임자  
- 벤처기업, 중소·중견·대기업 참여 가능  
- 정부지원 연구개발비 매칭(현금 및 현물 부담) 필수  
- 연차평가 결과에 따라 과제 중단 가능  
- 동일 내내역사업 중복 참여 제한

[신청기간]  
2025년 10월 28일(화) ~ 2025년 11월 28일(금)

[신청방법]  
전자파일 이메일 접수

[지원기관]  
나노종합기술원

[문의처]  
대전광역시 유성구 대학로 291 나노종합기술원 인재‧성과관리실 김경민 (042-366-2026, kkm@nnfc.re.kr)

[가점사항]  
공고문 내 별도 명시 없음

[제외대상]  
- 국가연구개발혁신법 제32조에 의한 참여제한 대상자  
- 휴업 중이거나 최근 2개 회계연도 부채비율 500% 이상, 자본전액 잠식 기업  
- 유사 내용으로 연속 지원 불가

[제출서류]  
- 연구개발계획서 1부(전자파일, 제공양식)  
- 발표평가자료 1부(15분 내외, PDF, 자율양식)  
- 기술사업화 협력 확약서 1부(제공양식)  
- 연구과제 신청 사전 검토의견서 1부(제공양식, 주관기관)  
- 개인정보 제공 및 활용 동의서 1부(제공양식)  
- 보안서약서 1부(제공양식)  
- 연구윤리 준수 서약서 1부(제공양식)  
- 필요시 개발장비 소유권 확약서(제공양식)

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